Hòstia de substrat SiC 4H-semi HPSI 2 polzades Producció Dummy Grau d'investigació

El substrat de carbur de silici es divideix principalment en tipus conductor i semiaïllant, el substrat conductor de carbur de silici a substrat de tipus n s'utilitza principalment per a LED epitaxial basat en GaN i altres dispositius optoelectrònics, dispositius electrònics de potència basats en SiC, etc., i semi- El substrat aïllant de carbur de silici SiC s'utilitza principalment per a la fabricació epitaxial de dispositius de radiofreqüència GaN d'alta potència.A més, l'aïllament semiaïllament HPSI i SI d'alta puresa és diferent, la concentració de transportador de semiaïllament d'alta puresa és de 3,5 * 1013 ~ 8 * 1015/cm3, amb una alta mobilitat d'electrons;El semi-aïllament és un material d'alta resistència, la resistivitat és molt alta, generalment s'utilitza per a substrats de dispositius de microones, no conductors.

Làmina de substrat de carbur de silici semiaïllant Hòstia de SiC

L'estructura cristal·lina de SiC determina les seves propietats físiques, en relació amb Si i GaAs, SiC té per a les propietats físiques;L'amplada de banda prohibida és gran, prop de 3 vegades la de Si, per garantir que el dispositiu funcioni a altes temperatures amb la fiabilitat a llarg termini;La força del camp de ruptura és alta, és 1O vegades la de Si, per garantir que la capacitat de tensió del dispositiu millori el valor de tensió del dispositiu;la taxa d'electrons de saturació és gran, és 2 vegades la de Si, per augmentar la freqüència i la densitat de potència del dispositiu;La conductivitat tèrmica és alta, més que Si, la conductivitat tèrmica és alta, la conductivitat tèrmica és alta, la conductivitat tèrmica és alta, la conductivitat tèrmica és alta, més que el Si, la conductivitat tèrmica és alta, la conductivitat tèrmica és alta.Alta conductivitat tèrmica, més de 3 vegades la del Si, augmentant la capacitat de dissipació de calor del dispositiu i realitzant la miniaturització del dispositiu.