Màquina de tall de filferro de diamant de carbur de silici de 4/6/8/12 polzades processament de lingots de SiC

Descripció breu:

La màquina de tall de filferro de diamant de carbur de silici és una mena d'equip de processament d'alta precisió dedicat a la rodanxa de lingot de carbur de silici (SiC), utilitzant la tecnologia Diamond Wire Saw, mitjançant filferro de diamant en moviment d'alta velocitat (diàmetre de línia de 0,1 ~ 0,3 mm) fins a tall de múltiples fils de lingot de SiC, per aconseguir una alta precisió i una preparació de baix dany. L'equip s'utilitza àmpliament en semiconductors de potència SiC (MOSFET/SBD), dispositius de radiofreqüència (GaN-on-SiC) i processament de substrats de dispositius optoelectrònics, és un equip clau a la cadena de la indústria de SiC.

Envieu-nos un correu electrònic

Detall del producte

Etiquetes de producte

Principi de funcionament:

1. Fixació del lingot: el lingot de SiC (4H/6H-SiC) es fixa a la plataforma de tall a través del dispositiu per garantir la precisió de la posició (± 0,02 mm).

2. Moviment de la línia de diamant: la línia de diamant (partícules de diamant galvanitzat a la superfície) és impulsada pel sistema de rodes de guia per a una circulació d'alta velocitat (velocitat de línia 10 ~ 30 m/s).

3. Alimentació de tall: el lingot s'alimenta al llarg de la direcció establerta i la línia de diamant es talla simultàniament amb múltiples línies paral·leles (100 ~ 500 línies) per formar múltiples hòsties.

4. Refrigeració i eliminació d'encenalls: ruixeu refrigerant (aigua desionitzada + additius) a la zona de tall per reduir els danys per calor i eliminar les estelles.

Paràmetres clau:

1. Velocitat de tall: 0,2 ~ 1,0 mm/min (segons la direcció del cristall i el gruix de SiC).

2. Tensió de la línia: 20 ~ 50N (massa alta fàcil de trencar la línia, massa baixa afecta la precisió de tall).

3. Gruix de l'hòstia: estàndard 350 ~ 500μm, l'hòstia pot arribar als 100μm.

Característiques principals:

(1) Precisió de tall
Tolerància al gruix: ±5μm (@hòstia de 350μm), millor que el tall de morter convencional (±20μm).

Rugositat de la superfície: Ra <0,5 μm (no es requereix mòlta addicional per reduir la quantitat de processament posterior).

Warpage: <10μm (redueix la dificultat del polit posterior).

(2) Eficàcia del processament
Tall multilínia: tall de 100 a 500 peces alhora, augmentant la capacitat de producció de 3 a 5 vegades (en comparació amb el tall de línia única).

Vida útil de la línia: la línia de diamant pot tallar 100 ~ 300 km SiC (segons la duresa del lingot i l'optimització del procés).

(3) Processament de danys baixos
Trencament de vora: <15μm (tall tradicional> 50μm), millora el rendiment de l'hòstia.

Capa de danys subterrània: <5μm (redueix l'eliminació del poliment).

(4) Protecció del medi ambient i economia
Sense contaminació de morter: reducció dels costos d'eliminació de líquids residuals en comparació amb el tall de morter.

Ús del material: pèrdues de tall <100μm / tallador, estalviant matèries primeres de SiC.

Efecte de tall:

1. Qualitat de l'hòstia: sense esquerdes macroscòpiques a la superfície, pocs defectes microscòpics (extensió de dislocació controlable). Pot entrar directament a l'enllaç de polit rugós, escurçar el flux del procés.

2. Consistència: la desviació de gruix de l'hòstia en el lot és <±3%, adequada per a la producció automatitzada.

3.Aplicabilitat: suport de tall de lingot 4H/6H-SiC, compatible amb tipus conductor/semi-aïllat.

Especificació tècnica:

Especificació	Detalls
Dimensions (L × A × A)	2500x2300x2500 o personalitza
Interval de mida del material de processament	4, 6, 8, 10, 12 polzades de carbur de silici
Rugositat superficial	Ra≤0,3u
Velocitat mitjana de tall	0,3 mm/min
Pes	5,5 t
Passos de configuració del procés de tall	≤30 passos
Soroll dels equips	≤80 dB
Tensió del fil d'acer	0 ~ 110 N (la tensió del cable 0,25 és de 45 N)
Velocitat del fil d'acer	0~30 m/S
Potència total	50kw
Diàmetre de fil de diamant	≥0,18 mm
Acaba la planitud	≤0,05 mm
Velocitat de tall i trencament	≤1% (excepte per raons humanes, material de silici, línia, manteniment i altres motius)

Serveis XKH:

XKH ofereix tot el servei de procés de la màquina de tall de filferro de diamant de carbur de silici, inclosa la selecció d'equips (concordança de diàmetre del cable/velocitat del cable), desenvolupament de processos (optimització de paràmetres de tall), subministrament de consumibles (filferro de diamant, roda guia) i suport postvenda (manteniment d'equips, anàlisi de qualitat de tall), per ajudar els clients a aconseguir un alt rendiment (> 95%) i baix cost de producció massiva de SiC. També ofereix actualitzacions personalitzades (com ara tall ultra prim, càrrega i descàrrega automatitzada) amb un termini de lliurament de 4 a 8 setmanes.