Màquina de tall de filferro de diamant de carbur de silici de 4/6/8/12 polzades per a processament de lingots de SiC

Descripció breu:

La màquina de tall de filferro de diamant de carbur de silici és un tipus d'equip de processament d'alta precisió dedicat al tall de lingots de carbur de silici (SiC), utilitzant la tecnologia de serra de filferro de diamant, mitjançant un filferro de diamant en moviment d'alta velocitat (diàmetre de línia 0,1~0,3 mm) per al tall multifilferro de lingots de SiC, per aconseguir una preparació d'oblies d'alta precisió i baix dany. L'equip s'utilitza àmpliament en el processament de substrats de semiconductors de potència de SiC (MOSFET/SBD), dispositius de radiofreqüència (GaN-on-SiC) i dispositius optoelectrònics, i és un equip clau en la cadena industrial de SiC.

Envia'ns un correu electrònic

Característiques

Principi de funcionament:

1. Fixació del lingot: el lingot de SiC (4H/6H-SiC) es fixa a la plataforma de tall a través del dispositiu de fixació per garantir la precisió de la posició (±0,02 mm).

2. Moviment de la línia de diamant: la línia de diamant (partícules de diamant electrodepositades a la superfície) és accionada pel sistema de rodes guia per a una circulació d'alta velocitat (velocitat de la línia 10 ~ 30 m/s).

3. Alimentació de tall: el lingot s'alimenta al llarg de la direcció establerta i la línia de diamant es talla simultàniament amb diverses línies paral·leles (100 ~ 500 línies) per formar múltiples oblies.

4. Refrigeració i eliminació de ferritges: Ruixeu refrigerant (aigua desionitzada + additius) a la zona de tall per reduir els danys per calor i eliminar les ferritges.

Paràmetres clau:

1. Velocitat de tall: 0,2 ~ 1,0 mm/min (segons la direcció del cristall i el gruix del SiC).

2. Tensió de la línia: 20~50N (massa alta fàcil de trencar la línia, massa baixa afecta la precisió del tall).

3. Gruix de la làmina: estàndard de 350 a 500 μm, la làmina pot arribar als 100 μm.

Característiques principals:

(1) Precisió de tall
Tolerància de gruix: ±5 μm (oblia de 350 μm), millor que el tall de morter convencional (±20 μm).

Rugositat superficial: Ra <0,5 μm (no cal rectificar addicionalment per reduir la quantitat de processament posterior).

Deformació: <10 μm (redueix la dificultat del poliment posterior).

(2) Eficiència del processament
Tall multilínia: tall de 100 a 500 peces alhora, augmentant la capacitat de producció de 3 a 5 vegades (en comparació amb el tall d'una sola línia).

Vida útil de la línia: la línia de diamant pot tallar 100~300 km de SiC (segons la duresa del lingot i l'optimització del procés).

(3) Processament de baix dany
Trencament de la vora: <15 μm (tall tradicional > 50 μm), millora el rendiment de la oblia.

Capa de danys subsuperficials: <5 μm (reduir l'eliminació del poliment).

(4) Protecció i economia del medi ambient
Sense contaminació del morter: costos reduïts d'eliminació de líquids residuals en comparació amb el tall del morter.

Aprofitament del material: Pèrdua de tall <100 μm/tallador, estalviant matèries primeres de SiC.

Efecte de tall:

1. Qualitat de la galeta: sense esquerdes macroscòpiques a la superfície, pocs defectes microscòpics (extensió de dislocació controlable). Pot entrar directament a l'enllaç de poliment rugós, escurçant el flux del procés.

2. Consistència: la desviació del gruix de l'oblea en el lot és <±3%, adequada per a la producció automatitzada.

3. Aplicabilitat: Admet el tall de lingots 4H/6H-SiC, compatible amb el tipus conductor/semi-aïllat.

Especificació tècnica:

Especificació	Detalls
Dimensions (L × A × A)	2500x2300x2500 o personalitzar
Gamma de mida del material de processament	4, 6, 8, 10, 12 polzades de carbur de silici
Rugositat superficial	Ra≤0.3u
Velocitat mitjana de tall	0,3 mm/min
Pes	5,5 t
Passos de configuració del procés de tall	≤30 passos
Soroll de l'equip	≤80 dB
Tensió del filferro d'acer	0~110N (la tensió del cable de 0,25 és de 45N)
Velocitat del cable d'acer	0~30 m/s
Potència total	50 kW
Diàmetre del fil de diamant	≥0,18 mm
Planitud final	≤0,05 mm
Taxa de tall i trencament	≤1% (excepte per raons humanes, material de silici, línia, manteniment i altres motius)

Serveis XKH:

XKH ofereix tot el servei de procés de la màquina de tall de filferro de diamant de carbur de silici, incloent-hi la selecció d'equips (adaptació del diàmetre del filferro/velocitat del filferro), el desenvolupament del procés (optimització dels paràmetres de tall), el subministrament de consumibles (filferro de diamant, roda guia) i l'assistència postvenda (manteniment d'equips, anàlisi de la qualitat del tall), per ajudar els clients a aconseguir una producció en massa d'oblies de SiC d'alt rendiment (>95%), de baix cost. També ofereix actualitzacions personalitzades (com ara tall ultrafí, càrrega i descàrrega automatitzades) amb un termini de lliurament de 4 a 8 setmanes.