Hòstia LNOI de pel·lícula d'un sol cristall de niobat de liti de 4 polzades i 6 polzades
El procés de preparació dels materials LNOI es divideix principalment en els quatre passos següents
(1) Els ions He es van injectar al material de niobat de liti tallat en X amb una certa energia i es van introduir a la capa de defecte a una certa profunditat per sota de la capa superficial de niobat de liti;
(2) El material de niobat de liti implantat amb ions s'uneix a un substrat de silici amb una capa d'òxid per formar una estructura d'enllaç;
(3) L'estructura d'enllaç es va recuit per fer evolucionar i agregar els defectes introduïts per la implantació d'ions He per formar esquerdes. Finalment, el niobat de liti es va separar al llarg de la capa de defecte per formar les rodanxes de niobat de liti residuals i les hòsties LNOI.
Aplicacions i avantatges de l'hòstia LNOI
1--Les pel·lícules piezoelèctriques de niobat de liti (LNOI) tenen un coeficient piezoelèctric elevat i una constant dielèctrica, que poden convertir l'energia mecànica en energia elèctrica o l'energia elèctrica en energia mecànica. Per tant, s'utilitza àmpliament en el camp dels sensors, com ara sensors de pressió, sensors d'acceleració, sensors de temperatura, etc. A més, la pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti també es pot utilitzar en dispositius acústics i dispositius de vibració, com ara el filtre ceràmic piezoelèctric complex de transductor ceràmic piezoelèctric.
2-L'estabilitat de la pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti també és un dels seus avantatges. A causa de la seva estabilitat de l'estructura cristal·lina i la seva inercia química, la pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti pot funcionar a alta temperatura, alta humitat, àcid fort, àlcali fort i altres ambients durs, amb bona resistència a la corrosió i durabilitat.
La pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti 3 és un nou material piezoelèctric amb un rendiment i estabilitat excel·lents i té una àmplia perspectiva d'aplicació. Amb el desenvolupament continu de la ciència i la tecnologia, la pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti s'aplicarà a més ciutats, aportant més comoditat i innovació a la vida de les persones.