Oblia LNOI de pel·lícula monocristallina de niobat de liti de 4 polzades i 6 polzades
El procés de preparació dels materials LNOI es divideix principalment en els quatre passos següents:
(1) Es van injectar ions He al material de niobat de liti tallat en X a una determinada energia i es van introduir a la capa de defectes a una certa profunditat per sota de la capa superficial de niobat de liti;
(2) El material de niobat de liti implantat amb ions s'uneix a un substrat de silici amb una capa d'òxid per formar una estructura d'unió;
(3) L'estructura d'unió es va recuit per fer que els defectes introduïts per la implantació d'ions He evolucionessin i s'agreguessin per formar esquerdes. Finalment, el niobat de liti es va separar al llarg de la capa de defectes per formar les llesques de niobat de liti residuals i les oblies de LNOI.
Aplicacions i avantatges de l'oblia LNOI
1--Les pel·lícules piezoelèctriques de niobat de liti (LNOI) tenen un coeficient piezoelèctric i una constant dielèctrica elevats, que poden convertir l'energia mecànica en energia elèctrica o l'energia elèctrica en energia mecànica. Per tant, s'utilitzen àmpliament en el camp dels sensors, com ara sensors de pressió, sensors d'acceleració, sensors de temperatura, etc. A més, la pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti també es pot utilitzar en dispositius acústics i dispositius de vibració, com ara transductors ceràmics piezoelèctrics complexos i filtres ceràmics piezoelèctrics.
2-L'estabilitat de la pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti també és un dels seus avantatges. A causa de la seva estabilitat estructural cristal·lina i inertícia química, la pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti pot funcionar en altes temperatures, alta humitat, àcids forts, àlcalis forts i altres ambients durs, amb bona resistència a la corrosió i durabilitat.
La pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti 3 és un nou material piezoelèctric amb un excel·lent rendiment i estabilitat, i té una àmplia perspectiva d'aplicació. Amb el desenvolupament continu de la ciència i la tecnologia, la pel·lícula piezoelèctrica de niobat de liti s'aplicarà a més ciutats, aportant més comoditat i innovació a la vida de les persones.
Diagrama detallat
