Etapa de rodament d'aire SiC d'ultra precisió

Imatge destacada de la platina amb coixinet d'aire de SiC d'ultraprecisió

Descripció breu:

Amb l'evolució contínua de la indústria dels semiconductors, els equips de processament i inspecció exigeixen un rendiment cada cop més alt. Basant-nos en una àmplia experiència en control de moviment i posicionament a nivell nanomètric, hem desenvolupat una platina planar de tipus H de doble eix i ultraprecisió amb coixinets d'aire.

Envia'ns un correu electrònic

Característiques

Diagrama detallat

Visió general

Dissenyada amb una estructura ceràmica de carbur de silici (SiC) optimitzada per elements finits i tecnologia de coixinets d'aire compensats, la platina ofereix una precisió, rigidesa i resposta dinàmica excepcionals. És ideal per a:

Processament i inspecció de semiconductors
Micro/nanofabricació i metrologia
Tall i poliment amb mosca a escala nanomètrica
Escaneig de precisió d'alta velocitat

Característiques principals

Guia de coixinets d'aire de SiCper a una rigidesa i precisió ultraelevades
Alta dinàmicavelocitat fins a 1 m/s, acceleració fins a 4 g, assentament ràpid
Eix Y de pòrtic de doble accionamentgaranteix una alta capacitat de càrrega i estabilitat
Opcions del codificador: xarxa òptica o interferòmetre làser
Precisió de posicionament±0,15 μm;repetibilitat±75 nm
Enrutament de cables optimitzatper a un disseny net i una fiabilitat a llarg termini
Configuracions personalitzablesper a necessitats específiques de l'aplicació

Disseny d'ultraprecisió i arquitectura sense contacte i accionament directe

Marc de ceràmica SiC~5× la rigidesa de l'aliatge d'alumini i ~5× menor expansió tèrmica, cosa que garanteix estabilitat a alta velocitat i robustesa tèrmica.
Coixinet d'aire compensatEl disseny patentat millora la rigidesa, la capacitat de càrrega i l'estabilitat del moviment.
Rendiment dinàmicAdmet una velocitat d'1 m/s i una acceleració de 4 g, ideal per a processos d'alt rendiment.
Integració perfectaCompatible amb sistemes d'aïllament de vibracions, etapes rotatives, mòduls d'inclinació i plataformes de manipulació d'oblies.
Gestió de cablesEl radi de flexió controlat minimitza l'estrès per a una vida útil més llarga.

Motor lineal sense nucliMoviment suau amb força de cogging zero.
Accionament multimotorLa col·locació del motor en el pla de càrrega millora la rectitud, la planitud i la precisió angular.
Aïllament tèrmicEls motors estan aïllats de l'estructura de l'escenari; refrigeració opcional per aire o aigua per a cicles d'alta resistència.

Especificacions

Model	400-400	500-500	600-600
Destrals	X (escaneig) / Y (pas)	X (escaneig) / Y (pas)	X (escaneig) / Y (pas)
Recorregut (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Precisió (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Repetibilitat (nm)	±75	±100	±100
Resolució (nm)	0,3	0,3	0,3
Velocitat màxima (m/s)	1	1	1
Acceleració (g)	4	4	4
Rectitud (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Estabilitat (nm)	±5	±5	±5
Càrrega màxima (kg)	20	20	20
Tancament/Balanç/Guiada (segons d'arc)	±1	±1	±1

Condicions de prova:

Subministrament d'aire: net i sec; punt de rosada ≤ 0 °F; filtració de partícules ≤ 0,25 μm; o 99,99% de nitrogen.
Precisió mesurada a 25 mm per sobre del centre de la platina a 20 ± 1 °C, 40–60% HR.

Aplicacions

Litografia, inspecció i manipulació de làmines de semiconductors
Micro/nanofabricació i metrologia de precisió
Fabricació d'òptiques d'alta gamma i interferometria
Recerca aeroespacial i científica avançada

Preguntes freqüents: etapa amb coixinet d'aire de carbur de silici

1. Què és una etapa amb suport d'aire?

Una plataforma amb coixinet d'aire utilitza una fina pel·lícula d'aire a pressió entre la plataforma i la guia per proporcionarmoviment sense fricció, sense desgast i ultrasuauA diferència dels coixinets mecànics convencionals, elimina el lliscament enganxós, ofereix una precisió a nivell nanomètric i permet una fiabilitat a llarg termini.

2. Per què utilitzar carbur de silici (SiC) per a l'estructura de l'escenari?

Alta rigidesa~5× la de l'aliatge d'alumini, cosa que minimitza la deformació durant el moviment dinàmic.
Baixa expansió tèrmica~5× més baix que l'alumini, mantenint la precisió sota variacions de temperatura.
LleugerDensitat més baixa en comparació amb l'acer, cosa que permet un funcionament d'alta velocitat i alta acceleració.
Excel·lent estabilitatAmortiment i rigidesa superiors per a un posicionament d'ultraprecisió.

3. L'escenari requereix lubricació o manteniment?

No cal lubricació tradicional, ja que hi hasense contacte mecànicEl manteniment recomanat inclou:

Subministramentaire comprimit o nitrogen net i sec
Inspecció periòdica de filtres i assecadors
Monitorització de cables i sistemes de refrigeració

4. Quins són els requisits de subministrament d'aire?

Punt de rosada: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtració de partícules: ≤ 0,25 μm
Aire net i sec o nitrogen pur al 99,99%
Pressió estable amb fluctuacions mínimes

Sobre nosaltres

XKH s'especialitza en el desenvolupament, la producció i la venda d'alta tecnologia de vidre òptic especial i nous materials cristallins. Els nostres productes serveixen a l'electrònica òptica, l'electrònica de consum i l'exèrcit. Oferim components òptics de safir, cobertes de lents per a telèfons mòbils, ceràmica, LT, SIC de carbur de silici, quars i oblies de cristall semiconductor. Amb experiència qualificada i equips d'avantguarda, destaquem en el processament de productes no estàndard, amb l'objectiu de ser una empresa líder en materials optoelectrònics d'alta tecnologia.