Oblia de safir de 12 polzades per a la fabricació de semiconductors d'alt volum

Descripció breu:

L'oblia de safir de 12 polzades està dissenyada per satisfer la creixent demanda de fabricació de semiconductors i optoelectrònica d'alt rendiment i gran superfície. A mesura que les arquitectures de dispositius continuen escalant i les línies de producció s'orienten cap a formats d'oblia més grans, els substrats de safir amb diàmetres ultra grans ofereixen clars avantatges en productivitat, optimització del rendiment i control de costos.

Envia'ns un correu electrònic

Característiques

Diagrama detallat

Introducció d'oblia de safir de 12 polzades

Fabricades amb Al₂O₃ monocristall d'alta puresa, les nostres oblies de safir de 12 polzades combinen una excel·lent resistència mecànica, estabilitat tèrmica i qualitat superficial. Gràcies a un creixement cristal·lí optimitzat i un processament de precisió d'oblies, aquests substrats ofereixen un rendiment fiable per a aplicacions avançades de LED, GaN i semiconductors especials.

Característiques del material

El safir (òxid d'alumini monocristallí, Al₂O₃) és conegut per les seves excel·lents propietats físiques i químiques. Les oblies de safir de 12 polzades hereten tots els avantatges del material de safir alhora que proporcionen una superfície útil molt més gran.

Les característiques clau del material inclouen:

Duresa i resistència al desgast extremadament altes
Excel·lent estabilitat tèrmica i alt punt de fusió
Resistència química superior a àcids i àlcalis
Alta transparència òptica des de longituds d'ona UV fins a IR
Excel·lents propietats d'aïllament elèctric

Aquestes característiques fan que les oblies de safir de 12 polzades siguin adequades per a entorns de processament durs i processos de fabricació de semiconductors a alta temperatura.

Procés de fabricació

La producció d'oblies de safir de 12 polzades requereix tecnologies avançades de creixement de cristalls i processament d'ultraprecisió. El procés de fabricació típic inclou:

Creixement de monocristalls
Els cristalls de safir d'alta puresa es cultiven mitjançant mètodes avançats com ara KY o altres tecnologies de creixement de cristalls de gran diàmetre, garantint una orientació uniforme del cristall i una baixa tensió interna.
Modelatge i tall de cristalls
El lingot de safir es modela amb precisió i es talla en oblies de 12 polzades mitjançant equips de tall d'alta precisió per minimitzar els danys subsuperficials.
Lapejat i polit
S'apliquen processos de solapat de diversos passos i poliment químic-mecànic (CMP) per aconseguir una rugositat superficial, planitud i uniformitat de gruix excel·lents.
Neteja i inspecció
Cada oblia de safir de 12 polzades se sotmet a una neteja exhaustiva i a una inspecció estricta, que inclou l'anàlisi de la qualitat de la superfície, el TTV, la corba, la deformació i els defectes.

Aplicacions

Les oblies de safir de 12 polzades s'utilitzen àmpliament en tecnologies avançades i emergents, com ara:

Substrats LED d'alta potència i alta brillantor
Dispositius d'alimentació i dispositius de radiofreqüència basats en GaN
Substrats aïllants i suports d'equips semiconductors
Finestres òptiques i components òptics de gran superfície
Envasos de semiconductors avançats i portadors de processos especials

El gran diàmetre permet un major rendiment i una millor eficiència en costos en la producció en massa.

Avantatges de les oblies de safir de 12 polzades

Àrea útil més gran per a una major producció de dispositiu per oblia
Millora de la consistència i uniformitat del procés
Cost reduït per dispositiu en la producció d'alt volum
Excel·lent resistència mecànica per a la manipulació de grans dimensions
Especificacions personalitzables per a diferents aplicacions

Opcions de personalització

Oferim personalització flexible per a oblies de safir de 12 polzades, incloent:

Orientació del cristall (pla C, pla A, pla R, etc.)
Tolerància de gruix i diàmetre
Polit d'una sola cara o de dues cares
Perfil de vora i disseny de xamfrà
Requisits de rugositat i planitud superficial

Paràmetre	Especificació	Notes
Diàmetre de l'oblia	12 polzades (300 mm)	Oblia estàndard de gran diàmetre
Material	Safir monocristall (Al₂O₃)	Alta puresa, grau electrònic/òptic
Orientació del cristall	Pla C (0001), Pla A (11-20), Pla R (1-102)	Orientacions opcionals disponibles
Gruix	430–500 μm	Gruix personalitzat disponible a petició
Tolerància de gruix	±10 μm	Tolerància estricta per a dispositius avançats
Variació total del gruix (TTV)	≤10 μm	Garanteix un processament uniforme a través de la làmina
Arc	≤50 μm	Mesurat sobre tota l'oblea
Deformació	≤50 μm	Mesurat sobre tota l'oblea
Acabat superficial	Polit d'una sola cara (SSP) / Polit de dues cares (DSP)	Superfície d'alta qualitat òptica
Rugositat superficial (Ra)	≤0,5 nm (polit)	Suavitat a nivell atòmic per al creixement epitaxial
Perfil de vora	Xamflat / Vora arrodonida	Per evitar estelles durant la manipulació
Precisió de l'orientació	±0,5°	Assegura un creixement adequat de la capa epitaxial
Densitat de defectes	<10 cm⁻²	Mesurat per inspecció òptica
Planitud	≤2 μm / 100 mm	Assegura una litografia uniforme i un creixement epitaxial
Neteja	Classe 100 – Classe 1000	Compatible amb sales blanques
Transmissió òptica	>85% (UV-IR)	Depèn de la longitud d'ona i el gruix

Preguntes freqüents sobre oblies de safir de 12 polzades

P1: Quin és el gruix estàndard d'una oblia de safir de 12 polzades?
R: El gruix estàndard oscil·la entre els 430 μm i els 500 μm. També es poden produir gruixos personalitzats segons els requisits del client.

P2: Quines orientacions de cristall hi ha disponibles per a les oblies de safir de 12 polzades?
A: Oferim orientacions de pla C (0001), pla A (11-20) i pla R (1-102). Es poden personalitzar altres orientacions segons els requisits específics del dispositiu.

P3: Quina és la variació de gruix total (TTV) de l'oblea?
A: Les nostres oblies de safir de 12 polzades solen tenir un TTV ≤10 μm, cosa que garanteix la uniformitat a tota la superfície de l'oblia per a la fabricació de dispositius d'alta qualitat.

Sobre nosaltres

XKH s'especialitza en el desenvolupament, la producció i la venda d'alta tecnologia de vidre òptic especial i nous materials cristallins. Els nostres productes serveixen a l'electrònica òptica, l'electrònica de consum i l'exèrcit. Oferim components òptics de safir, cobertes de lents per a telèfons mòbils, ceràmica, LT, SIC de carbur de silici, quars i oblies de cristall semiconductor. Amb experiència qualificada i equips d'avantguarda, destaquem en el processament de productes no estàndard, amb l'objectiu de ser una empresa líder en materials optoelectrònics d'alta tecnologia.