Ventosa de safata ceràmica de carbur de silici Subministrament de tubs ceràmics de carbur de silici Sinterització a alta temperatura Processament personalitzat
Característiques principals:
1. Safata ceràmica de carbur de silici
- Alta duresa i resistència al desgast: la duresa és propera a la del diamant i pot suportar el desgast mecànic en el processament de les oblies durant molt de temps.
- Alta conductivitat tèrmica i baix coeficient d'expansió tèrmica: dissipació ràpida de la calor i estabilitat dimensional, evitant la deformació causada per l'estrès tèrmic.
- Alta planitud i acabat superficial: La planitud superficial és de fins a micres, cosa que garanteix un contacte complet entre l'oblia i el disc, reduint la contaminació i els danys.
Estabilitat química: Forta resistència a la corrosió, adequada per a processos de neteja en humit i gravat en la fabricació de semiconductors.
2. Tub ceràmic de carbur de silici
- Resistència a altes temperatures: pot funcionar en un entorn d'alta temperatura per sobre de 1600 °C durant molt de temps, adequat per a processos de semiconductors d'alta temperatura.
Excel·lent resistència a la corrosió: resistent a àcids, àlcalis i una varietat de dissolvents químics, adequada per a entorns de procés durs.
- Alta duresa i resistència al desgast: resisteixen l'erosió de partícules i el desgast mecànic, allarguen la vida útil.
- Alta conductivitat tèrmica i baix coeficient d'expansió tèrmica: conducció ràpida de la calor i estabilitat dimensional, reduint la deformació o esquerdes causades per l'estrès tèrmic.
Paràmetre del producte:
Paràmetre de la safata ceràmica de carbur de silici:
| (Propietat material) | (Unitat) | (ssic) | |
| (Contingut de SiC) | (Pes)% | >99 | |
| (Mida mitjana del gra) | micres | 4-10 | |
| (Densitat) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porositat aparent) | Vo1% | <0,5 | |
| (Duresa Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Resistència a la flexió* (tres punts) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Resistència a la compressió) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Mòdul elàstic) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Resistència a la fractura) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Conductivitat tèrmica) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Resistivitat) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Coeficient de dilatació tèrmica) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura màxima de funcionament) | ºC | 1700 | |
Paràmetre del tub ceràmic de carbur de silici:
| Articles | Índex |
| α-SIC | 99% mínim |
| Porositat aparent | 16% màxim |
| Densitat a granel | 2,7 g/cm3 min |
| Resistència a la flexió a alta temperatura | 100 Mpa mín |
| Coeficient de dilatació tèrmica | K-1 4.7x10 -6 |
| Coeficient de conductivitat tèrmica (1400ºC) | 24 W/mk |
| Temperatura màxima de treball | 1650ºC |
Aplicacions principals:
1. Placa ceràmica de carbur de silici
- Tall i polit de galeta: serveix com a plataforma de suport per garantir una alta precisió i estabilitat durant el tall i el polit.
- Procés de litografia: l'oblia es fixa a la màquina de litografia per garantir un posicionament d'alta precisió durant l'exposició.
- Poliment químic-mecànic (CMP): actua com a plataforma de suport per a les coixinets de polit, proporcionant una pressió uniforme i una distribució de la calor.
2. Tub ceràmic de carbur de silici
- Tub de forn d'alta temperatura: s'utilitza per a equips d'alta temperatura com ara forns de difusió i forns d'oxidació per transportar oblies per al tractament de processos d'alta temperatura.
- Procés CVD/PVD: Com a tub de suport a la cambra de reacció, resistent a altes temperatures i gasos corrosius.
- Accessoris per a equips semiconductors: per a intercanviadors de calor, gasoductes, etc., per millorar l'eficiència de la gestió tèrmica dels equips.
XKH ofereix una gamma completa de serveis personalitzats per a safates, ventoses i tubs ceràmics de carbur de silici. Les safates i ventoses ceràmiques de carbur de silici, XKH, es poden personalitzar segons els requisits del client de diferents mides, formes i rugositat superficial, i admeten un tractament de recobriment especial, milloren la resistència al desgast i la resistència a la corrosió; Per a tubs ceràmics de carbur de silici, XKH pot personalitzar una varietat de diàmetres interiors, diàmetres exteriors, longituds i estructures complexes (com ara tubs amb forma o tubs porosos), i proporcionar polit, recobriment antioxidant i altres processos de tractament de superfícies. XKH garanteix que els clients puguin aprofitar al màxim els avantatges de rendiment dels productes ceràmics de carbur de silici per satisfer els requisits exigents de camps de fabricació d'alta gamma com ara semiconductors, leds i fotovoltaica.
Diagrama detallat
