Placa de safata ceràmica SiC grafit amb recobriment CVD SiC per a equips

Placa de safata de ceràmica SiC grafit amb recobriment CVD SiC per a equips Imatge destacada

Descripció breu:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. produeix disc de gravat semiconductor Φ380mm–Φ600mm, disc de rodament d'hòsties, safata de carbur de silici, safata SIC, safata de carbur de silici, safata de gravat ICP, safata de gravat, puresa de carbur de silici> 99,9%, vida útil de la safata SIC és quatre vegades la de la safata CVD basada en grafit, ús a llarg termini sense deformació, resistent a àcid FH, corrosió H2So4 concentrada.

Envieu-nos un correu electrònic

Detall del producte

Etiquetes de producte

Les ceràmiques de carbur de silici no només s'utilitzen en l'etapa de deposició de pel·lícula fina, com l'epitaxia o MOCVD, o en el processament d'hòsties, en el cor de la qual les safates de suport d'hòsties per MOCVD es sotmeten primer a l'entorn de deposició i, per tant, són altament resistents a calor i corrosió. Els portadors recoberts de SiC també tenen una alta conductivitat tèrmica i excel·lents propietats de distribució tèrmica.

Portadors d'hòsties de carbur de silici de deposició química pura en vapor (CVD SiC) per al processament de deposició de vapor químic orgànic metàl·lic (MOCVD) d'alta temperatura.

Els suports d'hòsties CVD SiC purs són significativament superiors als suports d'hòsties convencionals utilitzats en aquest procés, que són de grafit i recoberts amb una capa de CVD SiC. aquests portadors a base de grafit recoberts no poden suportar les altes temperatures (1100 a 1200 graus centígrads) necessàries per a la deposició de GaN del led blau i blanc d'alta brillantor actual. Les altes temperatures fan que el recobriment desenvolupi petits forats a través dels quals els productes químics del procés erosionen el grafit que hi ha a sota. Aleshores, les partícules de grafit s'escampen i contaminen el GaN, fent que es substitueixi el suport d'hòstia recobert.

CVD SiC té una puresa del 99,999% o més i té una alta conductivitat tèrmica i resistència al xoc tèrmic. Per tant, pot suportar les altes temperatures i els entorns durs de la fabricació de LED d'alta brillantor. És un material monolític sòlid que assoleix la densitat teòrica, produeix partícules mínimes i presenta una resistència a la corrosió i l'erosió molt alta. El material pot canviar l'opacitat i la conductivitat sense introduir impureses metàl·liques. Els suports d'hòsties solen tenir 17 polzades de diàmetre i poden contenir fins a 40 hòsties de 2-4 polzades.