Tipus p 4H/6H-P 3C-N TIPUS SIC substrat 4 polzades 〈111〉± 0,5 ° Zero MPD
4H/6H-P Tipus SiC Substrats compostos Taula de paràmetres comuns
4 Silici de polzades de diàmetreSubstrat de carbur (SiC). Especificació
Grau | Producció zero MPD Grau (Z Grau) | Producció estàndard Grau (Pàg Grau) | Grau maniquí (D Grau) | ||
Diàmetre | 99,5 mm ~ 100,0 mm | ||||
Gruix | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientació de l'hòstia | Fora de l'eix: 2,0°-4,0° cap a [1120] ± 0,5° durant 4H/6H-P, OEix n:〈111〉± 0,5° per a 3C-N | ||||
Densitat de microtubes | 0 cm-2 | ||||
Resistivitat | tipus p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
tipus n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientació Pis Primària | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Longitud plana primària | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Longitud plana secundària | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientació Pis Secundària | Silici cara amunt: 90° CW. del pis Prime±5,0° | ||||
Exclusió de vora | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Arc/Deformació | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugositat | Ra≤1 nm polonès | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Esquerdes de vora per llum d'alta intensitat | Cap | Longitud acumulada ≤ 10 mm, longitud única ≤ 2 mm | |||
Plaques hexagonals per llum d'alta intensitat | Àrea acumulada ≤0,05% | Àrea acumulada ≤0,1% | |||
Zones politipus per llum d'alta intensitat | Cap | Àrea acumulada ≤3% | |||
Inclusions de carboni visual | Àrea acumulada ≤0,05% | Àrea acumulada ≤3% | |||
Esgarrapades superficials de silici per llum d'alta intensitat | Cap | Longitud acumulada ≤ 1 × diàmetre de l'hòstia | |||
Xips de vora d'alta per intensitat de llum | No es permet cap ≥0,2 mm d'amplada i profunditat | 5 permesos, ≤1 mm cadascun | |||
Contaminació superficial de silici per alta intensitat | Cap | ||||
Embalatge | Casset de múltiples hòsties o contenidor d'hòsties simples |
Notes:
※ Els límits de defectes s'apliquen a tota la superfície de l'hòstia excepte a l'àrea d'exclusió de la vora. # Les ratllades només s'han de comprovar a la cara Si.
El substrat SiC tipus P 4H/6H-P 3C-N de 4 polzades amb orientació 〈111〉± 0,5 ° i grau MPD zero s'utilitza àmpliament en aplicacions electròniques d'alt rendiment. La seva excel·lent conductivitat tèrmica i la seva alta tensió de ruptura el fan ideal per a electrònica de potència, com ara interruptors d'alta tensió, inversors i convertidors de potència, que funcionen en condicions extremes. A més, la resistència del substrat a altes temperatures i corrosió garanteix un rendiment estable en entorns durs. L'orientació precisa de 〈111〉± 0,5° millora la precisió de fabricació, fent-la adequada per a dispositius de RF i aplicacions d'alta freqüència, com ara sistemes de radar i equips de comunicació sense fil.
Els avantatges dels substrats compostos de SiC de tipus N inclouen:
1. Alta conductivitat tèrmica: dissipació de calor eficient, la qual cosa la fa apta per a entorns d'alta temperatura i aplicacions d'alta potència.
2. Alta tensió de ruptura: garanteix un rendiment fiable en aplicacions d'alta tensió com els convertidors de potència i els inversors.
3. Grau Zero MPD (Micro Pipe Defect): garanteix defectes mínims, proporcionant estabilitat i alta fiabilitat en dispositius electrònics crítics.
4. Resistència a la corrosió: duradora en entorns durs, assegurant una funcionalitat a llarg termini en condicions exigents.
5. Orientació precisa 〈111〉± 0,5°: permet una alineació precisa durant la fabricació, millorant el rendiment del dispositiu en aplicacions d'alta freqüència i RF.
En general, el substrat SiC de 4 polzades tipus 4H/6H-P 3C-N tipus P amb orientació 〈111〉± 0,5 ° i grau MPD zero és un material d'alt rendiment ideal per a aplicacions electròniques avançades. La seva excel·lent conductivitat tèrmica i la seva alta tensió de ruptura el fan perfecte per a electrònica de potència com interruptors d'alta tensió, inversors i convertidors. El grau Zero MPD garanteix defectes mínims, proporcionant fiabilitat i estabilitat en dispositius crítics. A més, la resistència del substrat a la corrosió ia les altes temperatures garanteix la durabilitat en entorns durs. L'orientació precisa de 〈111〉± 0,5 ° permet una alineació precisa durant la fabricació, el que el fa molt adequat per a dispositius de RF i aplicacions d'alta freqüència.