Substrat SIC tipus p 4H/6H-P 3C-N tipus 4 polzades 〈111〉± 0,5°Zero MPD
Taula de paràmetres comuns dels substrats compostos de SiC tipus 4H/6H-P
4 polzades de diàmetre de siliciSubstrat de carbur (SiC) Especificació
Grau | Producció zero de MPD Grau (Z) Grau) | Producció estàndard Grau (P) Grau) | Grau de maniquí (D Grau) | ||
Diàmetre | 99,5 mm ~ 100,0 mm | ||||
Gruix | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientació de l'oblia | Fora de l'eix: 2,0°-4,0° cap a [1120] ± 0,5° per a 4H/6H-P, Oeix n: 〈111〉± 0,5° per a 3C-N | ||||
Densitat de micropipes | 0 cm-2 | ||||
Resistivitat | tipus p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωcm | ≤0,3 Ωcm | ||
tipus n 3C-N | ≤0,8 mΩ·cm | ≤1 m Ωcm | |||
Orientació plana primària | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Longitud plana primària | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Longitud plana secundària | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientació plana secundària | Cara de silicona cap amunt: 90° en sentit horari des del pla Prime±5,0° | ||||
Exclusió de vores | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Arc/Deformació | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugositat | Ra polonès ≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Esquerdes a les vores per llum d'alta intensitat | Cap | Longitud acumulada ≤ 10 mm, longitud individual ≤ 2 mm | |||
Plaques hexagonals per llum d'alta intensitat | Àrea acumulada ≤0,05% | Àrea acumulada ≤0,1% | |||
Àrees politípiques per llum d'alta intensitat | Cap | Àrea acumulada ≤3% | |||
Inclusions visuals de carboni | Àrea acumulada ≤0,05% | Àrea acumulada ≤3% | |||
Ratllades de la superfície de silici per llum d'alta intensitat | Cap | Longitud acumulada ≤1 × diàmetre de l'oblia | |||
Xips de vora d'alta intensitat per llum | No es permet cap amplada i profunditat ≥0,2 mm | 5 permesos, ≤1 mm cadascun | |||
Contaminació superficial de silici per alta intensitat | Cap | ||||
Embalatge | Casset multi-oblia o contenidor d'oblia individual |
Notes:
※Els límits de defectes s'apliquen a tota la superfície de la oblia excepte a la zona d'exclusió de la vora. # Les ratllades s'han de comprovar només a la cara de silici.
El substrat de SiC de 4 polzades tipus P 4H/6H-P 3C-N amb orientació 〈111〉± 0,5° i grau MPD zero s'utilitza àmpliament en aplicacions electròniques d'alt rendiment. La seva excel·lent conductivitat tèrmica i l'alta tensió de ruptura el fan ideal per a electrònica de potència, com ara interruptors d'alta tensió, inversors i convertidors de potència, que funcionen en condicions extremes. A més, la resistència del substrat a altes temperatures i corrosió garanteix un rendiment estable en entorns durs. L'orientació precisa 〈111〉± 0,5° millora la precisió de la fabricació, fent-lo adequat per a dispositius de radiofreqüència i aplicacions d'alta freqüència, com ara sistemes de radar i equips de comunicació sense fil.
Els avantatges dels substrats compostos de SiC de tipus N inclouen:
1. Alta conductivitat tèrmica: dissipació de calor eficient, cosa que la fa adequada per a entorns d'alta temperatura i aplicacions d'alta potència.
2. Alta tensió de ruptura: garanteix un rendiment fiable en aplicacions d'alta tensió com ara convertidors de potència i inversors.
3. Grau Zero MPD (Micro Defectes de Canonada): Garanteix defectes mínims, proporcionant estabilitat i alta fiabilitat en dispositius electrònics crítics.
4. Resistència a la corrosió: Durable en entorns durs, garantint una funcionalitat a llarg termini en condicions exigents.
5. Orientació precisa de 〈111〉± 0,5°: permet una alineació precisa durant la fabricació, millorant el rendiment del dispositiu en aplicacions d'alta freqüència i RF.
En general, el substrat de SiC de 4 polzades tipus P 4H/6H-P 3C-N amb una orientació 〈111〉± 0,5° i grau Zero MPD és un material d'alt rendiment ideal per a aplicacions electròniques avançades. La seva excel·lent conductivitat tèrmica i l'alta tensió de ruptura el fan perfecte per a electrònica de potència com ara interruptors d'alta tensió, inversors i convertidors. El grau Zero MPD garanteix defectes mínims, proporcionant fiabilitat i estabilitat en dispositius crítics. A més, la resistència del substrat a la corrosió i a les altes temperatures garanteix la durabilitat en entorns durs. L'orientació precisa 〈111〉± 0,5° permet una alineació precisa durant la fabricació, cosa que el fa molt adequat per a dispositius de radiofreqüència i aplicacions d'alta freqüència.
Diagrama detallat

