El substrat de carbur de silici es divideix en tipus semiaïllant i tipus conductor. Actualment, l'especificació principal dels productes de substrat de carbur de silici semiaïllat és de 4 polzades. Al mercat de carbur de silici conductor, l'especificació actual del substrat principal és de 6 polzades.
A causa de les aplicacions aigües avall en el camp de RF, els substrats de SiC semi-aïllats i els materials epitaxials estan subjectes al control d'exportació del Departament de Comerç dels EUA. El SiC semi-aïllat com a substrat és el material preferit per a l'heteroepitaxia GaN i té perspectives d'aplicació importants en el camp de les microones. En comparació amb el desajust de cristall de safir 14% i Si 16,9%, el desajust de cristall dels materials SiC i GaN és només del 3,4%. Juntament amb la conductivitat tèrmica ultra alta de SiC, els dispositius de microones d'alta freqüència i alta potència LED d'alta eficiència energètica i GaN preparats per aquest tenen grans avantatges en radar, equips de microones d'alta potència i sistemes de comunicació 5G.
La investigació i el desenvolupament de substrats de SiC semi-aïllats sempre han estat el focus de la investigació i desenvolupament de substrats de cristall únic de SiC. Hi ha dues dificultats principals en el creixement de materials de SiC semiaïllats:
1) Reduir les impureses del donant N introduïdes pel gresol de grafit, l'adsorció d'aïllament tèrmic i el dopatge en pols;
2) Mentre es garanteix la qualitat i les propietats elèctriques del cristall, s'introdueix un centre de nivell profund per compensar les impureses residuals de nivell poc profund amb activitat elèctrica.
Actualment, els fabricants amb capacitat de producció de SiC semi-aïllada són principalment SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
El cristall conductor de SiC s'aconsegueix injectant nitrogen a l'atmosfera en creixement. El substrat de carbur de silici conductor s'utilitza principalment en la fabricació de dispositius de potència, dispositius de potència de carbur de silici amb alt voltatge, corrent elevat, alta temperatura, alta freqüència, baixa pèrdua i altres avantatges únics, millorarà considerablement l'ús existent de l'energia dels dispositius de potència basats en silici. eficiència de conversió, té un impacte significatiu i de gran abast en el camp de la conversió eficient d'energia. Les principals àrees d'aplicació són vehicles elèctrics/piles de càrrega, nova energia fotovoltaica, trànsit ferroviari, xarxa intel·ligent, etc. Com que els productes conductors són principalment dispositius d'alimentació en vehicles elèctrics, fotovoltaics i altres camps, la perspectiva d'aplicació és més àmplia i els fabricants són més nombrosos.
Tipus de cristall de carbur de silici: l'estructura típica del millor carbur de silici cristal·lí 4H es pot dividir en dues categories, una és el tipus de cristall de carbur de silici cúbic d'estructura d'esfalerita, coneguda com 3C-SiC o β-SiC, i l'altra és l'hexagonal. o estructura de diamant de l'estructura de gran període, que és típica de 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, etc., coneguda col·lectivament com a α-SiC. 3C-SiC té l'avantatge d'una alta resistivitat en els dispositius de fabricació. Tanmateix, l'elevat desajust entre les constants de gelosia Si i SiC i els coeficients d'expansió tèrmica poden provocar un gran nombre de defectes a la capa epitaxial 3C-SiC. El 4H-SiC té un gran potencial en la fabricació de MOSFET, perquè el seu creixement de cristalls i els processos de creixement de la capa epitaxial són més excel·lents, i en termes de mobilitat d'electrons, 4H-SiC és superior a 3C-SiC i 6H-SiC, proporcionant millors característiques de microones per a 4H. - MOSFET SiC.
Si hi ha una infracció, poseu-vos en contacte amb l'eliminació
Hora de publicació: 16-jul-2024