Índex
1. Visió general i funcions bàsiques de la FOUP
2. Estructura i característiques de disseny de FOUP
3. Classificació i directrius d'aplicació de la FOUP
4. Operacions i importància de la FOUP en la fabricació de semiconductors
5. Reptes tècnics i tendències de desenvolupament futur
6. Solucions personalitzades i suport de servei de XKH
En el procés de fabricació de semiconductors, el Front Opening Unified Pod (FOUP) és un contenidor crític que s'utilitza per protegir, transportar i emmagatzemar oblies. El seu interior pot allotjar 25 peces d'oblies de 300 mm, i els seus components principals inclouen un contenidor d'obertura frontal i un marc de porta dedicat per obrir i tancar. El FOUP és un portador de nuclis en el sistema de transport automatitzat dins de les fàbriques d'oblies de 12 polzades. Normalment es transporta en un estat tancat i només s'obre quan s'empeny cap al port de càrrega de l'equip, permetent que les oblies es transfereixin al port de càrrega/descàrrega de l'equip.
El disseny del FOUP s'adapta als requisits del microentorn. Compta amb ranures a la part posterior per a la inserció d'oblies, i la tapa està dissenyada específicament per coincidir amb la pinça de l'obridor. Els robots de manipulació d'oblies operen en un entorn d'aire net de Classe 1, garantint que les oblies no es contaminin durant la transmissió. A més, el FOUP es mou entre les eines de procés mitjançant un sistema automatitzat de manipulació de materials (AMHS). Les fàbriques d'oblies modernes utilitzen principalment sistemes ferroviaris aeris per al transport, mentre que algunes fàbriques més antigues poden utilitzar vehicles guiats automàticament (AGV) terrestres.
El FOUP no només permet la transferència automatitzada d'oblies, sinó que també té una funció d'emmagatzematge. A causa dels nombrosos passos de fabricació, les oblies poden trigar mesos a completar tot el flux del procés. Combinat amb els elevats volums de producció mensuals, això significa que desenes de milers d'oblies dins d'una fàbrica estan constantment en trànsit o emmagatzematge temporal en qualsevol moment. Durant l'emmagatzematge, els FOUP es purguen periòdicament amb nitrogen per evitar que els contaminants entrin en contacte amb les oblies, garantint un procés de producció net i fiable.
1. Funcions i importància de la FOUP
La funció principal del FOUP és protegir les oblies dels xocs i la contaminació externs, evitant en particular els impactes en el rendiment durant la transferència. Prevé eficaçment la humitat mitjançant mètodes com la purga de gas i el control d'atmosfera local (LAC), garantint que les oblies es mantinguin en un estat segur mentre esperen el següent pas de fabricació. El seu sistema segellat i controlat només permet l'entrada de compostos i elements necessaris, reduint significativament els efectes adversos dels COV, l'oxigen i la humitat sobre les oblies.
Com que un FOUP completament carregat amb 25 oblies pot pesar fins a 9 quilograms, el seu transport ha de dependre d'un sistema automatitzat de manipulació de materials (AMHS). Per facilitar-ho, el FOUP està dissenyat amb diverses combinacions de plaques d'acoblament, pins i forats, i està equipat amb etiquetes electròniques RFID per a una fàcil identificació i classificació. Aquesta manipulació automatitzada gairebé no requereix cap operació manual, cosa que redueix considerablement les taxes d'error i millora la seguretat i la precisió del procés de fabricació.
2. Estructura i classificació de la FOUP
Les dimensions típiques d'un FOUP són aproximadament 420 mm d'amplada, 335 mm de profunditat i 335 mm d'alçada. Els seus principals components estructurals inclouen: un OHT (capçal de bolet) superior per al transport del polipast superior; una porta frontal per a l'accés a les oblies de l'equip; nanses laterals, sovint codificades per colors per distingir les zones de procés amb diferents nivells de contaminació; una àrea de targetes per col·locar targetes de missatges; i una etiqueta RFID inferior que serveix com a identificador únic del FOUP, permetent que les eines i els polipasts superiors el reconeguin. La base també està equipada amb quatre forats d'identificació i posicionament per fer-los coincidir amb les eines i distingir les zones de procés.
Segons l'ús, els FOUP es classifiquen en tres tipus: PRD (per a producció), ENG (per a oblies d'enginyeria) i MON (per a oblies de monitorització). Els FOUP PRD es poden utilitzar per a la fabricació de productes, els tipus ENG són adequats per a R+D o experiments, i els tipus MON es dediquen a la monitorització de processos per a passos com CMP i DIFF. És important tenir en compte que els FOUP PRD es poden utilitzar tant per a propòsits ENG com MON, i els tipus ENG es poden utilitzar per a MON, però l'operació inversa planteja riscos de qualitat.
Classificats per nivell de contaminació, els FOUP es poden dividir en FE FOUP (procés frontal, sense metall), BE FOUP (procés posterior, conté metall) i els especialitzats per a processos metàl·lics específics com ara NI FOUP, CU FOUP i CO FOUP. Els FOUP per a diferents processos es distingeixen normalment pel color de les nanses laterals o els panells de les portes. Els FOUP dels processos frontals es poden utilitzar en processos posteriors, però els FOUP posteriors no s'han d'utilitzar mai en processos frontals, ja que això causaria riscos de contaminació.
Com a operador clau en la fabricació de semiconductors, la FOUP, mitjançant una alta automatització i un estricte control de la contaminació, garanteix la seguretat i la neteja de les oblies durant el procés de producció, convertint-la en una infraestructura indispensable en les fàbriques d'oblíes modernes.
Conclusió
XKH es compromet a proporcionar als clients solucions de pods unificats d'obertura frontal (FOUP) altament personalitzades, respectant estrictament els requisits específics del vostre procés i les especificacions d'interfície de l'equip. Aprofitant la tecnologia de materials avançada i els processos de fabricació de precisió, garantim que cada producte FOUP ofereixi una hermeticitat, neteja i estabilitat mecànica excepcionals. El nostre equip tècnic posseeix una profunda experiència en la indústria, oferint un suport integral del cicle de vida, des de la consulta de selecció i l'optimització estructural fins a la neteja i el manteniment, garantint una integració perfecta i una col·laboració eficient entre el FOUP i el vostre sistema automatitzat de manipulació de materials (AMHS), així com els equips de processament. Prioritzem constantment la seguretat de les oblies i la millora del rendiment de la producció com a objectius principals. A través de productes innovadors i serveis tècnics integrals, oferim una garantia sòlida per als vostres processos de fabricació de semiconductors, augmentant en última instància l'eficiència de la producció i el rendiment del producte.
Data de publicació: 08 de setembre de 2025