Substrat de SiC 4H-N de grau de producció de SiC de 8 polzades
La taula següent mostra les especificacions de les nostres oblies de SiC de 8 polzades:
| Especificacions del DSP SiC de tipus N de 8 polzades | |||||
| Número | Ítem | Unitat | Producció | Recerca | Maniquí |
| 1: paràmetres | |||||
| 1.1 | politipus | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientació de la superfície | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Paràmetre elèctric | |||||
| 2.1 | dopant | -- | nitrogen de tipus n | nitrogen de tipus n | nitrogen de tipus n |
| 2.2 | resistivitat | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Paràmetre mecànic | |||||
| 3.1 | diàmetre | mm | 200 ± 0,2 | 200 ± 0,2 | 200 ± 0,2 |
| 3.2 | gruix | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientació de l'osca | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Profunditat de l'osca | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Arc | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Deformació | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Estructura | |||||
| 4.1 | densitat de microtubs | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | contingut de metalls | àtoms/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | TLP | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Qualitat frontal | |||||
| 5.1 | davant | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | acabat superficial | -- | CMP Si-face | CMP Si-face | CMP Si-face |
| 5.3 | partícula | oblea | ≤100 (mida ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | ratllar | oblea | ≤5, longitud total ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Vora estelles/esquerdes/esquerdes/taques/contaminació | -- | Cap | Cap | NA |
| 5.6 | Àrees de politipus | -- | Cap | Àrea ≤10% | Àrea ≤30% |
| 5.7 | marcatge frontal | -- | Cap | Cap | Cap |
| 6: Qualitat del revers | |||||
| 6.1 | acabat posterior | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | ratllar | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Vora de defectes posteriors estelles/indentacions | -- | Cap | Cap | NA |
| 6.4 | Rugositat de l'esquena | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Marcatge posterior | -- | Osca | Osca | Osca |
| 7: vora | |||||
| 7.1 | vora | -- | Xamfrà | Xamfrà | Xamfrà |
| 8: Paquet | |||||
| 8.1 | embalatge | -- | Epi-ready amb buit embalatge | Epi-ready amb buit embalatge | Epi-ready amb buit embalatge |
| 8.2 | embalatge | -- | Multi-oblia envasament de casset | Multi-oblia envasament de casset | Multi-oblia envasament de casset |
Diagrama detallat
Escriu el teu missatge aquí i envia'ns-el